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　　SEM全称Scanning Electron Microscope，即扫描电镜，是一种用于高分辨率微区形貌分析的大型精密仪器。想要了解SEM表征检测主要检测的什么，需要先了解SEM，如SEM扫描电镜的工作原理，其主要检测哪些内容，检测的样品是哪些，样品分别都有什么需求。

　　SEM检测的工作原理

　　SEM扫描电镜是一种介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观观察手段，能够直接利用样品表面材料的物质性能来进行微观成像。其原理是当具有一定能力的电子束轰击样品表面的时候，电子与物质元素的原子核以及外层的电子产生了单次或者多次的碰撞，一些电子反射出样品的表面，而一部分则渗入样品中，被样品所吸收。在该过程当中，大部分的电子能量会转换成样品热能，而剩下的则会在其中激发出各种信号。

　　SEM表征检测的应用范围

　　SEM表征检测可应用于微观形貌、颗粒尺寸、微区组成、元素分布、元素价态和化学键、晶体结构、相组成、结构缺陷、晶界结构和组成等。SEM一般通过组合EDS使用，可利用EDS进行元素成分定性、定量分析。用来观测芯片内部层次和测量各层厚度、观测并拍摄局部异常照片和测量异常尺寸、测量芯片关键尺寸线宽和孔径、定性和定量分析异常污染物的化学元素组成。

　　SEM样品的要求

　　1、粉末样品基本要求

　　（1）单颗粉末尺寸最好小于1μm；

　　（2）无磁性；

　　（3）以无机成分为主，否则会造成电镜严重的污染，高压跳掉，甚至击坏高压枪；

　　2、块状样品基本要求

　　（1）需要电解减薄或离子减薄，获得几十纳米的薄区才能观察；

　　（2）如晶粒尺寸小于1μm，也可用破碎等机械方法制成粉末来观察；

　　（3）无磁性。

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