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　　半导体产业与现代化的生活和国家战略息息相关，具有广阔的市场空间和国际意义，随着产业发展，行业内的资源利用和安全环保问题日益加剧，资源环保技术的更新已成为重要的产业优化方向之一。

　　实际上，普遍应用于行业内中清洗和蚀刻等工艺中的高纯度氨水，以及部分产线中废气喷淋废液，所形成的的高浓度氨氮废水，是目前主要的环保问题。

　　如常用的氨氮废水处理方法有在高浓度氨氮废水处理过程中常采用吹脱-生物法、吹脱-折点氯化法、化学沉淀-生物法等。

　　此外还有新型生物脱氮技术之短程硝化反硝化技术、厌氧氨氧化技术、膜技术之反渗透技术和电渗析法等技术。

　　但是由于水质指标的不同和工艺条件的限制，针对不同类别的废水，采用的处理技术有很大差异，针对半导体行业氨氮废水，海普开发的氨氮去除树脂吸附产品可将废水中的氨氮吸附在材料表面，实现有水体氨氮的脱除。

　　实验处理效果表明采用吸附处理，废水中的氨氮去除率稳定在90%以上，出水中氨氮含量可以控制在10 mg/L以下。

　　此外，高浓度的氨氮对生物法硝化过程具有抑制作用，采用吸附法处理氨氮废水，能将废水中的氨氮高效去除，保证处理后的废水含量在20 mg/L以下，以满足企业的要求，降低废水后续处理的压力。

半导体废水处理流程（半导体废水这样处理效果好）-2

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