　　电子厂废水处理工艺流程图讲解（电子厂污水处理工艺|方法）

电子工业高速发展，半导体行业发展剧增，相关化学品的需求也逐年增多，电子级磷酸的需求增长显著。

　　电子工业废水处理工艺是什么？随着我国电子工业的高度发展，电子工业废水处理难度逐渐增加，乐中环保科技小编和大家一起聊聊电子工业废水处理工艺。

　　一、电子工业废水含磷酸废液来源

　　电子级磷酸又被称为超高纯磷酸，是磷酸工业皇冠上的明珠，主要用于芯片的清洗、蚀刻，其洁净度和纯度对电子元器件的性能、可靠性及良品率影响很大，例如，在晶圆的加工过程中，若其被杂质污染，将导致集成电路(IC）的产率下降约50%。

　　因此，为了保证产品的可靠性，获得高产率的大规模集成电路，电子工业必须使用高纯电子级磷酸进行清洗，并不断将新电子级磷酸补充到生产过程。随着集成电路规模逐年增大，含磷酸废液产生量不断上升。

　　面板行业和集成电路行业是电子工业的典型代表，电子级磷酸在其中应用广泛，其实际的使用工艺有所差别，产生的含磷酸废液有很多不同特性。

　　二、电子工业含磷酸废液的特点

　　面板和集成电路等电子工业经蚀刻或清洗工艺产生的含磷酸废液的主要成分仍是磷酸（含量≥50%)、硝酸、醋酸的混合物,其中阳离子主要有铝、钼、银和其他微量金属离子。

　　除有无色透明的以外，该废液还存在多种显色形态，如带灰色悬浮的、浅蓝色澄清的等。主要原因是在电子工业中为了提升磷酸蚀刻或清洗效果，添加了抑制剂、分散剂等有机活性剂成分。

　　三、电子工业废水含磷酸废液提纯技术

　　1、净化＋蒸发浓缩技术

　　对于低有机物含磷酸废液，其中仅含有无机酸和有价金属阳离子。向该废液中添加双氧水氧化后,采用无机碳化硅陶瓷膜超滤去除悬浮物，再用多效负压蒸发将废磷酸中的挥发性醋酸、硝酸脱除并浓缩至大于75%，浓缩后的磷酸经沉降再次去除悬浮物，即可满足《工业磷酸》(GB/T 2091——2008）的标准，市场价值居于中位。通常只能选择石墨作为蒸发设备的材料来应对设备腐蚀，因此设备故障率较高。目前，磷酸净化+蒸发提浓的工艺要求较高，多数停留在实验室阶段或由大型磷酸企业实施，仅有少部分危险废物处理企业进行了应用。

　　2、萃取提纯＋蒸发浓缩技术

　　对于有机酸或杂质含量较多的含磷酸废液，可以选择多级逆流萃取工艺，由于磷酸与有机萃取相结合力不强,要投入硫酸促进磷酸在萃取段向有机相转移，并在后端用低浓度稀磷酸进行反萃，后通过100℃左右蒸发浓缩获得浓度75%的磷酸，降低对设备腐蚀的要求。利用萃取除杂法处理面板行业产出的含磷酸废液，研究证实，磷酸三丁酯/N235/DT-100萃取体系的除杂效果较好，在比较好的条件下，磷酸回收率达到93.80%，硝酸去除率达到82.65%。但以萃取为主的提纯工艺多见于大型湿法磷酸企业，主要集中在我国三四线城市，该磷酸净化技术在危险废物处理企业亦不常见。

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